极紫外光刻机 – 冯金伟博客园

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台积电今明两年有望接收超过60台EUV光刻机花费约123亿美元

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台积电今明两年有望接收超过60台EUV光刻机花费约123亿美元

风君子博客7月1日消息，据外媒报道，自2019年量产的第二代7nm制程工艺开始采用极紫外光刻机（EUV）以来，台积电随后量产的5nm、3nm制程工艺均是依赖于价格高昂的极紫外光刻机，未来的2nm及以下 ...

风君子
业界
2024-07-01
34

阿斯麦NXT：2050i及NXT：2100i光刻系统出口许可证已被部分撤销

半导体极紫外光刻机阿斯麦

阿斯麦NXT：2050i及NXT：2100i光刻系统出口许可证已被部分撤销

风君子博客1月2日消息，据外媒报道，当地时间周一，荷兰半导体设备制造商阿斯麦（ASML）发表声明称，其NXT：2050i及NXT：2100i光刻系统的出口许可证已被荷兰政府部分撤销，这影响了中国大陆的 ...

风君子
业界
2024-01-02
67

东进世美肯计划研发新一代极紫外光刻胶

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东进世美肯计划研发新一代极紫外光刻胶

风君子博客6月26日消息，据外媒报道，在三星电子尝试重构EUV光刻胶供应链的推动下，东进世美肯所研发的极紫外光刻胶，已在去年年底被用于他们的一条量产工艺线。 ...

风君子
业界
2023-06-26
71