EUV光刻机已经成为芯片制造的支柱,台积电和三星等晶圆厂这几年不断追逐5nm和3nm等先进工艺,本身就是EUV光刻机采购大户,再加上现在这几大晶圆厂纷纷扩产建厂,无疑又加大了对EUV光刻机的需求。 ...

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