IT之家10月1日消息 此前据台媒 DigiTimes 报道，台积电加速先进制程推进，近期扩大释单，累计 EUV 机台至2021年底将超过50台。报道指出，相较之下，三星电子2021年还不到25台，同时 EUV POD（光罩传送盒）采购量远低于预期。

据财联社报道，台积电方面对此回复称：公司不评论市场传闻。据了解，一台EUV光刻机售价近8亿元，55台EUV光刻机价值约440亿元。

消息称台积电斥资440亿采购EUV光刻机，官方：不评论传闻-冯金伟博客园

IT之家了解到，台积电8月举行了年度技术研讨会，透露了其在尖端制造实力方面的情况。台积电占据了业界 EUV（极紫外光）设备安装量的50%。此外，台积电还拥有约60% 的 EUV 晶圆累计产量。

ASML 是唯一一家生产和销售 EUV 光刻设备的公司。按照 Cutress 此前估计，台积电已经从 ASML 购买了30-35台设备。据此估算，ASML 已售出约70台机器，到2020年底可能会卖到90台。