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  • 3.True 空科学技术的一个分支
  • 3.真空度的单位和真空面积的划分
  • 5.True 空技术的应用

1.True 空:一般指一个大气压以下的气体状态。

2.特点:

1.true 空容器受大气压力影响,压力取决于容器内外的压力差;

2.在真空状态下,气体稀薄,单位体积的分子数少,分子之间或与其他粒子(如电子、离子)和壁面的碰撞数少。

3.True 空科学技术的一个分支

True 空技术:true 空采集、测量、检漏、true 空系统和部件。

True 空冶炼:铸造、热处理、焊接、单晶制备。

等离子科学与技术:磁控溅射,离子镀,化学气相沉积,等离子显示器。

薄膜科技:蒸镀、离子镀、CVD、溅射镀膜。

电子加工技术:电子器件、半导体器件、光电材料、外延、掩膜和刻蚀。

表面科学:固体表面的电子结构和原子结构,隧道显微镜,表面性能测试。

应用科学:表面分析仪器,如紫外光电子能谱和X射线光电子能谱。

纳米科学与技术:材料制备、性能测试与分析、应用

3.真空度的单位和真空面积的划分

1)真实空度

这是对气体稀有程度的客观测量。最直接的物理量应该是单位体积的分子数。由于历史原因,通常用气压来表示真空度,气压低,真空度高。反之,真空度低。

2)气体压力:单位面积上气体作用在壁上的压力。

3)真空度的测量:

前期用Hg柱的高度来衡量压力,1个大气压=760mmHg。后来发现汞有七种不同密度的同位素,所以同一个汞柱表示的压力并不唯一。第十届国际计量大会决定用Pa来定义标准大气压,规定:1标准大气压(ATM)= 1.013×10 ^ 5 Pa,1/760大气压称为1托,1托几乎等于1mmHg,1托r = 1/760 Pa = 133.33 Pa;1毫巴=100Pa=0.75毫米汞柱1磅/平方英寸= 6895帕= 68.95毫巴=51.715毫米汞柱

4.真实空区域的划分:

真空区域划分没有统一标准,国内划分也不统一。一般分为五个区域:

True 空 760~10托

低空 10~10-3托

True 空 10-3~10-8托

超真空 10-8 ~10-12托

5.True 空技术的应用

广泛应用于工业生产和科学研究的各个领域。

比如压力差可以做真空吸盘,真空进给;电子管和离子加速器(碰撞少);冶金行业:true 空冶炼、脱气、精炼、热处理、稀有金属和半导体材料的制备;食品行业,real 空保鲜、包装、冻干;活性物质抗氧化(延寿、灯泡);表面物理学(清洁表面以进行全面的实验研究)