风君子博客7月1日消息，据外媒报道，自2019年量产的第二代7nm制程工艺开始采用极紫外光刻机（EUV）以来，台积电随后量产的5nm、3nm制程工艺均是依赖于价格高昂的极紫外光刻机，未来的2nm及以下制程工艺则是需要价格更高的高数值孔径极紫外光刻机。

而从外媒最新的报道来看，已从阿斯麦公司大量采购极紫外光刻机，用于7nm、5nm和3nm制程工艺的台积电，在今明两年仍会从阿斯麦大量接收这一类的光刻机，有消息称将会超过60台。

考虑到阿斯麦极紫外光刻机高昂的价格，台积电今明两年接收超过60台，花费也就不会低。外媒在报道中也提到，台积电的总投资将超过4000亿新台币，也就是约123亿美元。

从外媒提到的数量来看，台积电今明两年接收超过60台，就将占到这一段时间阿斯麦极紫外光刻机交付量的近一半。有消息称阿斯麦今年极紫外光刻机的交付量预计为53台，明年预计将会超过72台。

阿斯麦是当前全球唯一能制造极紫外光刻机的厂商，台积电、三星电子、英特尔等厂商也全依靠阿斯麦供应，目前的产能也比较紧张，预订之后都需要一段时间才能交付。外媒在报道中也提到，阿斯麦这一类光刻机目前的交付时间在16到20个月，今年大部分的订单，要在明年才能开始交付。

由于主要客户对极紫外光刻机有强劲的需求，阿斯麦也在提升产量，他们在去年就已开始计划新工厂，明年的交付量有望增加，有报道称目标产能是90台。（海蓝）